Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. Volume II Manufacturing techniques for microfabrication and nanotechnology.

Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Madou, Marc J.
Médium: Kniha
Jazyk:English
Vydáno: Boca Raton, Fla. CRC Press c2012.
Vydání:3rd ed.
Témata: