Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. Volume II Manufacturing techniques for microfabrication and nanotechnology.

Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman: Madou, Marc J.
Materialtyp: Bok
Språk:English
Publicerad: Boca Raton, Fla. CRC Press c2012.
Upplaga:3rd ed.
Ämnen: