Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. Volume II Manufacturing techniques for microfabrication and nanotechnology.
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Médium: | Kniha |
| Jazyk: | English |
| Vydáno: |
Boca Raton, Fla.
CRC Press
c2012.
|
| Vydání: | 3rd ed. |
| Témata: |