Principles of microelectromechanical systems

Sonraí bibleagrafaíochta
Príomhchruthaitheoir:	Lee, Ki Bang
Formáid:	LEABHAR
Teanga:	English
Foilsithe / Cruthaithe:	Hoboken, N.J. Wiley c2011.
Ábhair:	Microelectromechanical systems.