Optical emission spectroscopy of low temperature PECVD of diamond and DLC films

Detaylı Bibliyografya
Yazar:	Patacsil, Crismar P.
Materyal Türü:	Tez
Dil:	İngilizce
Baskı/Yayın Bilgisi:	c2004.
Konular:	Emission spectroscopy. Diamond crystals. Plasma-enhanced chemical vapor deposition.