Optical emission spectroscopy of low temperature PECVD of diamond and DLC films

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي:	Patacsil, Crismar P.
التنسيق:	أطروحة
اللغة:	الإنجليزية
منشور في:	c2004.
الموضوعات:	Emission spectroscopy. Diamond crystals. Plasma-enhanced chemical vapor deposition.