Chemistry and lithography

Bibliografische gegevens
Hoofdauteur:	Okoroanyanwu, Uzodinma
Coauteur:	Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
Formaat:	Boek
Taal:	Engels
Gepubliceerd in:	Bellingham, Wash. SPIE Press 2010.
Onderwerpen:	Lithography. Chemistry, Technical.