Kansikuva

Chemistry and lithography

Bibliografiset tiedot
Päätekijä: Okoroanyanwu, Uzodinma
Yhteisötekijä: Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
Aineistotyyppi: Kirja
Kieli:englanti
Julkaistu: Bellingham, Wash. SPIE Press 2010.
Aiheet:
Lithography.
Chemistry, Technical.