Introduction to microfabrication

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Franssila, Sami
Format:	Buch
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Chichester, West Sussex John Wiley & Sons 2010.
Ausgabe:	2nd ed.
Schlagworte:	Microelectromechanical systems. Electronic apparatus and appliances. Microfabrication.