Formation of SiHx on Silicon (100) using low energy negative hydrogen ions from a magnetized sheet plasma source

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας:	Fernandez, Marcedon S. (Συγγραφέας)
Μορφή:	Thesis
Γλώσσα:	Αγγλικά
Έκδοση:	2004.
Θέματα:	Ion bombardment. IonImplantation. Plasma chemistry. Ion mobility spectroscopy.