Chemical vapor deposition thermal and plasma deposition of electronic materials

Chemical vapor deposition thermal and plasma deposition of electronic materials

Bibliografiset tiedot
Päätekijä: Sivaram, S.
Aineistotyyppi: Kirja
Kieli:English
Julkaistu: New York Van Nostrand Reinhold c1995.
Aiheet:
Microelectronics industry.
Chemical vapor deposition.
Microelectronics > Materials.