Characterization in silicon processing

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Άλλοι συγγραφείς:	Strausser, Yale, Brundle, C. Richard, Evans, Charles A.
Μορφή:	Βιβλίο
Γλώσσα:	English
Έκδοση:	New York Momentum Press c2010.
Θέματα:	Silicon. Electric conductors. Semiconductor films. Surface chemistry.