Microfabrication and nanomanufacturing

Microfabrication and nanomanufacturing

מידע ביבליוגרפי
מחברים אחרים: Jackson, Mark J.
פורמט: ספר
שפה:English
יצא לאור: Boca Raton, Fla. CRC/Taylor & Francis 2006.
נושאים:
Microelectronics.
Integrated circuits > Design and construction.
Nanomanufacturing.
Microelectromechanical systems > Design and construction.