Microfabrication and nanomanufacturing

Microfabrication and nanomanufacturing

Chi tiết về thư mục
Tác giả khác: Jackson, Mark J.
Định dạng: Sách
Ngôn ngữ:English
Được phát hành: Boca Raton, Fla. CRC/Taylor & Francis 2006.
Những chủ đề:
Microelectronics.
Integrated circuits > Design and construction.
Nanomanufacturing.
Microelectromechanical systems > Design and construction.