Sotto, R. H. (2008). Parametric study of the reactive ion etching of silicon.
Citazione stile Chigago Style (17a edizione)Sotto, Romelyn H. Parametric Study of the Reactive Ion Etching of Silicon. 2008.
Citatione MLA (9a ed.)Sotto, Romelyn H. Parametric Study of the Reactive Ion Etching of Silicon. 2008.
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