Nano- and micro-electromechanical systems fundamentals of nano- and microengineering
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Định dạng: | Sách |
| Ngôn ngữ: | English |
| Được phát hành: |
Boca Raton, Fla.
CRC Press
c2005.
|
| Phiên bản: | 2nd ed. |
| Loạt: | Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series
8 |
| Những chủ đề: |