Nano- and micro-electromechanical systems fundamentals of nano- and microengineering
| Autor principal: | |
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| Formato: | Livro |
| Idioma: | English |
| Publicado em: |
Boca Raton, Fla.
CRC Press
c2005.
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| Edição: | 2nd ed. |
| Colecção: | Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series
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| Assuntos: |