Nano- and micro-electromechanical systems fundamentals of nano- and microengineering
| 第一著者: | |
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| フォーマット: | 図書 |
| 言語: | English |
| 出版事項: |
Boca Raton, Fla.
CRC Press
c2005.
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| 版: | 2nd ed. |
| シリーズ: | Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series
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| 主題: |