Nano- and micro-electromechanical systems fundamentals of nano- and microengineering
| Autore principale: | |
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| Natura: | Libro |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
Boca Raton, Fla.
CRC Press
c2005.
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| Edizione: | 2nd ed. |
| Serie: | Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series
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| Soggetti: |