Nano- and micro-electromechanical systems fundamentals of nano- and microengineering
| מחבר ראשי: | |
|---|---|
| פורמט: | ספר |
| שפה: | English |
| יצא לאור: |
Boca Raton, Fla.
CRC Press
c2005.
|
| מהדורה: | 2nd ed. |
| סדרה: | Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series
8 |
| נושאים: |