Nano- and micro-electromechanical systems fundamentals of nano- and microengineering
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Aineistotyyppi: | Kirja |
| Kieli: | English |
| Julkaistu: |
Boca Raton, Fla.
CRC Press
c2005.
|
| Painos: | 2nd ed. |
| Sarja: | Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series
8 |
| Aiheet: |