Nano- and micro-electromechanical systems fundamentals of nano- and microengineering
| Autor principal: | |
|---|---|
| Format: | Llibre |
| Idioma: | English |
| Publicat: |
Boca Raton, Fla.
CRC Press
c2005.
|
| Edició: | 2nd ed. |
| Col·lecció: | Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series
8 |
| Matèries: |