MEMS

Detaylı Bibliyografya
Yazar:	Mahalik, Nitaigour Premchand
Materyal Türü:	Kitap
Dil:	English
Baskı/Yayın Bilgisi:	New Delhi Tata McGraw-Hill c2007.
Konular:	Microelectromechanical systems. Microelectronics.