Nanoscale calibration standards and methods dimensional and related measurements in the micro- and nanometer range

Bibliografiset tiedot
Muut tekijät: Wilkening, Geunter, Koenders, Ludger
Aineistotyyppi: Kirja
Kieli:English
Julkaistu: Weinheim Wiley-VCH c2005.
Aiheet: