MEMS design and fabrication

Detalhes bibliográficos
Outros Autores:	Gad-el-Hak, Mohamed 1945-
Formato:	Livro
Idioma:	English
Publicado em:	Boca Raton, Fla. CRC/Taylor & Francis c2006.
Edição:	2nd ed.
Assuntos:	Microelectromechanical systems > Design and construction. Microfabrication.