MEMS design and fabrication

MEMS design and fabrication

Podrobná bibliografie
Další autoři: Gad-el-Hak, Mohamed 1945-
Médium: Kniha
Jazyk:English
Vydáno: Boca Raton, Fla. CRC/Taylor & Francis c2006.
Vydání:2nd ed.
Témata:
Microelectromechanical systems > Design and construction.
Microfabrication.