MEMS design and fabrication

MEMS design and fabrication

Bibliografiska uppgifter
Övriga upphovsmän: Gad-el-Hak, Mohamed 1945-
Materialtyp: Bok
Språk:English
Publicerad: Boca Raton, Fla. CRC/Taylor & Francis c2006.
Upplaga:2nd ed.
Ämnen:
Microelectromechanical systems > Design and construction.
Microfabrication.