MEMS design and fabrication

MEMS design and fabrication

Bibliografische gegevens
Andere auteurs: Gad-el-Hak, Mohamed 1945-
Formaat: Boek
Taal:English
Gepubliceerd in: Boca Raton, Fla. CRC/Taylor & Francis c2006.
Editie:2nd ed.
Onderwerpen:
Microelectromechanical systems > Design and construction.
Microfabrication.