MEMS applications

书目详细资料
其他作者:	Gad-el-Hak, Mohamed 1945-
格式:	图书
语言:	English
出版:	Boca Raton, Fla. CRC Press/Taylor & Francis c2006.
版:	2nd ed.
主题:	Microelectromechanical systems. Detectors. Microactuators. Robots.