MEMS applications

Detalles Bibliográficos
Otros Autores:	Gad-el-Hak, Mohamed 1945-
Formato:	Libro
Lenguaje:	English
Publicado:	Boca Raton, Fla. CRC Press/Taylor & Francis c2006.
Edición:	2nd ed.
Materias:	Microelectromechanical systems. Detectors. Microactuators. Robots.