MEMS applications

Dades bibliogràfiques
Altres autors:	Gad-el-Hak, Mohamed 1945-
Format:	Llibre
Idioma:	English
Publicat:	Boca Raton, Fla. CRC Press/Taylor & Francis c2006.
Edició:	2nd ed.
Matèries:	Microelectromechanical systems. Detectors. Microactuators. Robots.