MEMS applications

التفاصيل البيبلوغرافية
مؤلفون آخرون:	Gad-el-Hak, Mohamed 1945-
التنسيق:	كتاب
اللغة:	English
منشور في:	Boca Raton, Fla. CRC Press/Taylor & Francis c2006.
الطبعة:	2nd ed.
الموضوعات:	Microelectromechanical systems. Detectors. Microactuators. Robots.