Plasma deposition of amorphous silicon-based materials.

Библиографические подробности
Главный автор:	Bruno, Giovanni
Формат:	‌
Язык:	English
Опубликовано:	Boston Academic Press 1995
Серии:	Plasma--materials interactions
Предметы:	Amorphous semiconductors > Design and construction. Plasma-enhanced chemical vapor deposition. Silicon alloys.