Plasma deposition of amorphous silicon-based materials.

Plasma deposition of amorphous silicon-based materials.

Bibliografische gegevens
Hoofdauteur: Bruno, Giovanni
Formaat: Boek
Taal:English
Gepubliceerd in: Boston Academic Press 1995
Reeks:Plasma--materials interactions
Onderwerpen:
Amorphous semiconductors > Design and construction.
Plasma-enhanced chemical vapor deposition.
Silicon alloys.