Plasma deposition of amorphous silicon-based materials.
| מחבר ראשי: | |
|---|---|
| פורמט: | ספר |
| שפה: | English |
| יצא לאור: |
Boston
Academic Press
1995
|
| סדרה: | Plasma--materials interactions
|
| נושאים: |
| מחבר ראשי: | |
|---|---|
| פורמט: | ספר |
| שפה: | English |
| יצא לאור: |
Boston
Academic Press
1995
|
| סדרה: | Plasma--materials interactions
|
| נושאים: |