Plasma deposition of amorphous silicon-based materials.
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Μορφή: | Βιβλίο |
| Γλώσσα: | English |
| Έκδοση: |
Boston
Academic Press
1995
|
| Σειρά: | Plasma--materials interactions
|
| Θέματα: |
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Μορφή: | Βιβλίο |
| Γλώσσα: | English |
| Έκδοση: |
Boston
Academic Press
1995
|
| Σειρά: | Plasma--materials interactions
|
| Θέματα: |