Plasma deposition of amorphous silicon-based materials.

Dades bibliogràfiques
Autor principal:	Bruno, Giovanni
Format:	Llibre
Idioma:	English
Publicat:	Boston Academic Press 1995
Col·lecció:	Plasma--materials interactions
Matèries:	Amorphous semiconductors > Design and construction. Plasma-enhanced chemical vapor deposition. Silicon alloys.