Plasma deposition of amorphous silicon-based materials.

গ্রন্থ-পঞ্জীর বিবরন
প্রধান লেখক:	Bruno, Giovanni
বিন্যাস:	গ্রন্থ
ভাষা:	English
প্রকাশিত:	Boston Academic Press 1995
মালা:	Plasma--materials interactions
বিষয়গুলি:	Amorphous semiconductors > Design and construction. Plasma-enhanced chemical vapor deposition. Silicon alloys.