Plasma deposition of amorphous silicon-based materials.

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي:	Bruno, Giovanni
التنسيق:	كتاب
اللغة:	English
منشور في:	Boston Academic Press 1995
سلاسل:	Plasma--materials interactions
الموضوعات:	Amorphous semiconductors > Design and construction. Plasma-enhanced chemical vapor deposition. Silicon alloys.