The Chemistry of metal CVD.

Chi tiết về thư mục
Tác giả chính:	Hampden-Smith, Mark J.
Định dạng:	Sách
Ngôn ngữ:	English
Được phát hành:	New York VCH Publishing 1994
Những chủ đề:	Chemical vapor deposition. Electronic circuit design. Metallic films.