The Chemistry of metal CVD.

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας:	Hampden-Smith, Mark J.
Μορφή:	Βιβλίο
Γλώσσα:	English
Έκδοση:	New York VCH Publishing 1994
Θέματα:	Chemical vapor deposition. Electronic circuit design. Metallic films.