Integrated circuits chemical and physical processing

Библиографические подробности
Главный автор: Stroeve, Pieter, 1945-
Соавтор: American Chemical Society. Division of Industrial and Engineering Chemistry
Формат:
Язык:English
Опубликовано: Washington, D.C. American Chemical Society 1985
Серии:ACS symposium series nACS symposium series
Предметы: