Characterization of silicon p-n junctions fabricated by ion shower doping

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Diaz, Jose Mario A.
Formato:	Tesis
Lenguaje:	inglés
Publicado:	2004.
Materias:	Ion implantation. Semiconductor doping. Semiconductors > Junctions. Silicon diodes. Semiconductor wafers.