Thermal stability study on titanium disilicide (TiSi2) thin films with titanium nitride (TiN) capping

Thermal stability study on titanium disilicide (TiSi2) thin films with titanium nitride (TiN) capping

מידע ביבליוגרפי
מחבר ראשי: Venezuela, Jeffrey De Guzman
פורמט: Thesis
שפה:English
יצא לאור: 2003.
נושאים:
Titanium compounds > Thermal properties.
Silicon compounds > Thermal properties.
Titanium nitride.
Thin films > Testing.