Thermal stability study on titanium disilicide (TiSi2) thin films with titanium nitride (TiN) capping

Thermal stability study on titanium disilicide (TiSi2) thin films with titanium nitride (TiN) capping

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Venezuela, Jeffrey De Guzman
التنسيق: أطروحة
اللغة:English
منشور في: 2003.
الموضوعات:
Titanium compounds > Thermal properties.
Silicon compounds > Thermal properties.
Titanium nitride.
Thin films > Testing.