Rapid thermal processing of semiconductors

Bibliografski detalji
Glavni autor:	Borisenko, V. E. (Viktor Evgen'evich)
Daljnji autori:	Hesketh, P. J. (Peter J.)
Format:	Knjiga
Jezik:	engleski
Izdano:	New York Plenum Press c1997.
Teme:	Rapid thermal processing. Semiconductors > Design and construction.