Semiconductor integrated circuit processing technology

Библиографические подробности
Главный автор:	Runyan, W. R.
Другие авторы:	Bean, K.E
Формат:	‌
Язык:	English
Опубликовано:	Reading, Mass. Addison-Wesley c1990.
Предметы:	Integrated circuits > Design and construction. Semiconductors > Design and construction.