Handbook of sputter deposition technology principles, technology, and applications

Библиографические подробности
Главный автор:	Wasa, Kiyotaka
Другие авторы:	Hayakawa, Shigeru 1925-
Формат:	‌
Язык:	English
Опубликовано:	Park Ridge, N.J. Noyes Publications c1992.
Предметы:	Cathode sputtering (Plating process) > Handbooks, manuals, etc. Thin films > Handbooks, manuals, etc.