Handbook of sputter deposition technology principles, technology, and applications

Bibliografische gegevens
Hoofdauteur:	Wasa, Kiyotaka
Andere auteurs:	Hayakawa, Shigeru 1925-
Formaat:	Boek
Taal:	English
Gepubliceerd in:	Park Ridge, N.J. Noyes Publications c1992.
Onderwerpen:	Cathode sputtering (Plating process) > Handbooks, manuals, etc. Thin films > Handbooks, manuals, etc.