Handbook of sputter deposition technology principles, technology, and applications
| Egile nagusia: | |
|---|---|
| Beste egile batzuk: | |
| Formatua: | Liburua | 
| Hizkuntza: | English | 
| Argitaratua: | Park Ridge, N.J.
          Noyes Publications
    
        c1992. | 
| Gaiak: | 


