Handbook of sputter deposition technology principles, technology, and applications

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας: Wasa, Kiyotaka
Άλλοι συγγραφείς: Hayakawa, Shigeru 1925-
Μορφή: Βιβλίο
Γλώσσα:English
Έκδοση: Park Ridge, N.J. Noyes Publications c1992.
Θέματα: