Handbook of sputter deposition technology principles, technology, and applications

Handbook of sputter deposition technology principles, technology, and applications

מידע ביבליוגרפי
מחבר ראשי: Wasa, Kiyotaka
מחברים אחרים: Hayakawa, Shigeru 1925-
פורמט: ספר
שפה:English
יצא לאור: Park Ridge, N.J. Noyes Publications c1992.
נושאים:
Cathode sputtering (Plating process) > Handbooks, manuals, etc.
Thin films > Handbooks, manuals, etc.