Handbook of sputter deposition technology principles, technology, and applications

Xehetasun bibliografikoak
Egile nagusia: Wasa, Kiyotaka
Beste egile batzuk: Hayakawa, Shigeru 1925-
Formatua: Liburua
Hizkuntza:English
Argitaratua: Park Ridge, N.J. Noyes Publications c1992.
Gaiak: