Կազմի պատկեր

Chemical vapor deposition thermal and plasma deposition of electronic materials

Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակ: Sivaram, S.
Ձևաչափ: Գիրք
Լեզու:անգլերեն
Հրապարակվել է: N.Y. Van Nostrand Reinhold c1995.
Խորագրեր:
Microelectronics industry.
Chemical vapor deposition.
Microelectronics > Materials.