Principles of plasma discharges and materials processing

Detaylı Bibliyografya
Yazar:	Lieberman, M. A.
Diğer Yazarlar:	Lichtenberg, Allan J.
Materyal Türü:	Kitap
Dil:	English
Baskı/Yayın Bilgisi:	New York Wiley c1994.
Konular:	Plasma dynamics. Thin films > Surfaces. Plasma etching. Plasma chemistry.